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      真空區域劃分


      真空區域劃分

      為實用上便利起見,人們常把真空度粗劃為幾個區段,根據GB/T3163—93,真空區域大致劃分如下
      低真空    105Pa~102Pa                          中真空    102Pa~10-1Pa
      高真空   10-1Pa~10-5Pa                         超高真空  <10-5Pa
      隨著真空技術的發展,在更低壓力下,氣體空間的物理特性有了新的特點,真空獲得和真空測量有了新的手段,區域劃方法如下
      低真空    105Pa~102Pa                           中真空    102Pa~10-1Pa
      高真空    10-1Pa~10-5Pa                        超高真空 10-5Pa~10-9Pa
      極高真空  <10-9Pa
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